FM960系列微小气体质量流量计

产品特点

产品特点:

主体采用不锈钢(316L)结构, 气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

耐压高及适用于真空条件下工作,低压降,工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

配合流量积算仪,对瞬时和累积流量进行精确计量。

产品应用:

半导体制造行业、真空镀膜设备、环境检测与分析设备、各行业气体流量检测和控制、特种材料表面处理装置与燃烧控制、混气配气系统和泄露探测系统等。

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